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博福特公司自引入美國技術,用于以極紫外(EUV)光刻技術進行批量IC制造。與國內光刻機制造商密切互動面開發,已率先通過企業不測試認證,并已用于BFT:6000B等產品。
隨著芯片生產制造開始更多地使用EUV光刻技術進行先進技術制程的大批量制造(HVM),對EUV光罩無缺陷的要求比以往任何時候都要嚴格。BEAUFORT的光罩盒等產品已經通過企業全面認證并大批量實際使用,可用于他們的最新一代光刻機,并展現了出色的光罩保護性能,包括解決最關鍵的微粒污染,BEAUFORT的BFT-6000B也因此讓客戶能夠安全地過渡到最先進的光刻工藝所需的越來越小的線寬。
為了在光刻機中實現上述性能,BEAUFORT開發了用于接觸光罩和控制環境的新技術。BEAUFORT BFT-6000B代表了缺陷率改進方面的得到重大突破,利益于此,先進技術制程客戶可以專注于提高效率和產量,與國內光刻機企業的良好互動和測試確保了符合最先進光刻機的要求。
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BEAUFORT是面向芯片制造和其他高科技行業的先進材料解決方案領域的領導者。



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